SWIR対応 テレセントリックレンズシリーズ
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SWIR対応 テレセントリックレンズシリーズ

製品スペック

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  • 4.5μ
  • 3.5μ
  • 2.7μ
  • 2.2μ
  • 1.7μ
  • 1/4"
  • 1/3"
  • 1/2"
  • 1/1.8"
  • 2/3"
  • 1"
  • 1.1"
  • 4/3"
  • φ21
  • φ28.6
  • φ32
  • φ35
  • φ45
  • φ62
  • φ73
  • φ83
  • φ90

SWIR(短波赤外)波長に対応したテレセントリックレンズ

  • 特定の対象物を透過でき、可視光では見えない対象物内の物質を検出できる。
  • 特定の波長範囲外で水分に吸収される性質があることから周りよりも水分を多く含む箇所を検出できる。
  • 倍率・波長によって2シリーズを展開
  • 光学倍率1x-4x、 1000nm-1600nmの透過率を高めたレンズ
  • 光学倍率10x、 900nm - 1500nmの透過率を高めたレンズ

透過率グラフ

Y:Transmittance(%) X:Wave Length (nm)


比較画像(同被写体 / 同シャッタースピードにて撮像)

※被写体:ウエハー
バックライトで撮影


アプリケーション事例集

  • シリコンウエハのアライメント

    シリコンウエハのアライメント

    膜厚測定装置における測定前のシリコンウエハアライメントにおいて選定されたレンズとは?

  • シリコンウエハ異物検査

    シリコンウエハ異物検査

    シリコンウエハにかかれたパターン回路の異常、異物検査の精度を上げる為に選定されたレンズとは?

  • ICチップ内の検査

    ICチップ内の検査

    ICチップの樹脂を透過して内部の異物や気泡などを検査したい。
    課題解決の為に選んだ製品とは?

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